RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭圓晶清洗

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產(chǎn)品名稱: RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭圓晶清洗

產(chǎn)品型號(hào): L40系列

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭圓晶清洗 L40系列（單通道?），是專為半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的，用于供應(yīng)純水和化學(xué)溶液。主回路采用非金屬材料，使其成為*大限度減少金屬離子溶入液體的旋轉(zhuǎn)接頭。

RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭圓晶清洗 的詳細(xì)介紹

RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭圓晶清洗 L40系列（單通道）

規(guī)格：

流體：純水，藥液，空氣，真空
*大壓力：-0.095-0.6Mpa
*大通路：1
*大轉(zhuǎn)速：600min-1
主要途徑與特點(diǎn)：

晶圓清洗時(shí)為旋轉(zhuǎn)刷提供純水或清洗液時(shí)使用。
或者、精磨、粗磨等各種裝置的晶圓真空夾緊時(shí)使用。
氟化樹脂的構(gòu)造、流路中沒有金屬粒子溶出隱患。還有使用了強(qiáng)化研磨粉或研磨液吸入現(xiàn)象的陶瓷密封面。

應(yīng)用端設(shè)備對(duì)象：精磨/粗磨、晶圓清洗裝置、高速旋轉(zhuǎn)托盤、CMP裝置

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